SID4 UV
光谱 紫外(190 - 400 nm)
作为最低可至波长190 nm的高分辨率波前传感器，SID4 UV非常适合于紫外光学测量，包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征，以及透镜和晶圆的表面面型检测。
- 250 x 250超高相位取样分辨率
- 2 nm RMS高相位灵敏度
- 紫外波段波前测量的通用解决方案
产品规格
SID4-UV
| 波长范围 | 190 - 400 nm |
| 靶面尺寸 | 7.8 x 7.8 mm² |
| 空间分辨率 | 26 µm |
| 取样分辨率 | 300 x 300 |
| 相位分辨率 | 2 nm RMS |
| 绝对精度 | 15 nm RMS |
| 取样速度 | > 15 fps |
| 实时处理速度* | 2 fps (全分辨率下)* |
| 接口种类 | 以太网口 |
| 尺寸（宽x高x长） | 74 x 71 x 91 mm³ |
| 重量 | 约600g |
*使用官方配置电脑搭载PhaseStudio软件环境下
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