SID4 UV HR
光谱 紫外(190 - 400 nm)
基于Phasics的独家专利技术，SID4 UV HR波前传感器可在190 nm至400 nm的紫外波段提供无与伦比的高相位分辨率（512x 512取样分辨率）和极高的相位灵敏度（优于2 nm RMS）。 因此，SID4 UV HR非常适合用于光刻，半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测（透镜和晶圆等）。
- 最低至190nm波长感光灵敏
- 2 nm RMS高相位灵敏度
- 512x 512超高相位取样分辨率
产品规格
SID4-UV-HR
| 波长范围 | 190 - 400 nm |
| 靶面尺寸 | 13.3 x 13.3 mm² |
| 空间分辨率 | 26 µm |
| 取样分辨率 | 512 x 512 |
| 相位分辨率 | 2 nm RMS |
| 绝对精度 | 20 nm RMS |
| 取样速度 | 15 fps |
| 实时处理速度* | 3 fps (全分辨率下)* |
| 接口种类 | USB3.0 |
| 尺寸（宽x高x长） | 80.3 x 78.6 x 108.2 mm³ |
| 重量 | 约600g |
*使用官方配置电脑搭载PhaseStudio软件环境下
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